精准的检测是超精密光学加工的基础,没有准确的测试数据便无法实现超精密光学加工。UPEC经过多年的实践积累,拥有多种光学检测方法及技术手段,凭借丰富的专业技术实力,获上海市科委授牌“上海市专业技术服务平台光学自由面检测”。
我们可提供高精度光学球面/非球面测量 、白光干涉仪表面粗糙度测量 、
超精密非球面轮廓检测、特殊面型及光学系统检测、高精度形位尺寸测量。
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检测能力
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测试项目 | 测试仪器 | 测试精度 |
高精度光学球面、非球面面型测量 | 干涉仪、ASI | PV λ/50 |
超精密非球面轮廓检测 | 轮廓仪 | PV λ/10 |
高精度三坐标测量 | 三坐标 | 0.3+L/100 μm |
白光干涉仪表面粗糙度测量 | 白光干涉仪 | Ra 0.1nm |