深紫外光学模块批量交付

近日，我司自主研发的266波段深紫外光学模块成功实现首次批量交付。该模块专为半导体行业精密量检测设备设计，是保障芯片制造工艺质量的关键光学部件。

在研发过程中，团队先后攻克了高精度像散校正与偏振保持等一系列技术难题，确保了模块在复杂工况下的稳定性能与高可靠性。此次批量交付，标志着我司在深紫外高端光学模块的设计、工艺及量产能力上迈上新台阶，将为下游半导体设备国产化提供有力支撑。