近日,我司成功交付首套深紫外193nm波段瞳镜。该镜头集设计、加工、集成装配与测试于一体,关键光学指标如透过率、调制传递函数(MTF)等均通过客户严格测试,全部达到验收标准。凭借首套产品的优异表现,客户对公司技术实力与产品质量给予高度认可,并已追加多台订单。
作为公司首套深紫外光学镜头,该产品创新采用小口径镜片无应力柔性固定方案,有效解决了精密光学装配中的应力控制难题,确保光学性能稳定可靠。该镜头将搭载于某半导体行业头部客户的高端量检测设备中,助力提升芯片制造过程中的检测精度与效率,标志着公司在深紫外光学镜头领域实现了关键技术突破。