我司首套光刻机投影物镜集成交付

近日，我司成功完成首套应用于平板显示光刻机的I线投影物镜的交付工作，并顺利完成其核心集成与装配任务。这标志着公司已全面掌握高端光刻投影物镜的系统集成能力，在高端复杂光学系统的设计、制造与集成道路上迈出了关键一步。

本次交付的投影物镜专为应对平板显示器基板的超大曝光视场需求而设计，采用I线光源，通过多支物镜的精密拼接，实现了大尺寸面板制造所需的大视场曝光能力。该投影物镜技术复杂度高，具有镜片数量多、镜片尺寸大、面型精度要求极为严苛等一系列技术挑战，对设计制造与系统集成均提出了极高要求。

尤为关键的是，该物镜的整体装配工作完全依托公司自有设备完成，包括大定心仪、测厚仪等一系列高精度设备。此举充分证明了上海现代先进已具备装配高端光刻机投影物镜所必需的先进硬件设施、成熟工艺体系与专业人才团队，为公司进一步拓展光刻机核心部件市场奠定了坚实技术与装备基础。目前，后续多套投影物镜的集成装配工作也已陆续启动，项目团队正有序推进相关进程。